IL400L - 超精密机床上的激光技术

IL400L是首台配备飞秒激光的超精密机床，专为玻璃、陶瓷和碳化硅的高端加工而设计。它能执行“选择性激光蚀刻”、“晶圆减薄”或“表面结构化”等工艺。激光以独特方式集成于机床内部，在超精密极坐标运动平台上实现准连续能量输送至加工表面。该方案的优势包括：不受阿贝误差影响的持续激光聚焦、便于球差校正的中心光束、相较于扫描仪更大的工作距离，以及大尺寸加工面无接缝过渡。
ILSLE
ILSLE将选择性激光蚀刻技术引入超精密车床，用于光学元件加工。制造双面石英玻璃光学元件时，激光焦点沿刀具路径移动，将几何形状刻写入材料。焦点处的高激光强度会改变玻璃特性，使后续蚀刻在激光改性区域显著加速。蚀刻过程仅针对这些区域进行，从而精确成形目标几何结构。由于工件无需翻转，前后表面可实现完美对准。非机械接触的蚀刻工艺几乎不会造成表面损伤。
ILPAC
除飞秒激光外，IL400L还可选配二极管激光器，用于红外材料和碳化钨的混合激光辅助切割。我们独特的激光束光纤耦合钻石刀技术，能以最小运动质量和最高光学系统稳定性动态生成自由曲面。

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